Разработка метода и комплекса технических средств для автоматического контроля и управления процессом производства полупроводниковых структур

  • 05.13.07

Калинин

178 стр.

Разработка метода и комплекса технических средств для автоматического контроля и управления процессом производства полупроводниковых структур — Филинов, Владимир Александрович — 1976 — Российская библиотека диссертаций