Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства

Другие работы по этой специальности

1. Исследование рентгенолитографических процессов и разработка оборудования для получения структур субмикронных размеров

   Семин, Юрий Федорович · 1998 · Канд. наук

   • 05.27.07
2. Исследование процесса и разработка установки финишной обработки микроприборов потоком твердых частиц

   Угольников, Сергей Викторович · 1998 · Канд. наук

   • 05.27.07
3. Разработка методов расчета и конструирования манипуляторов для чистых производственных помещений

   Меркушев, Олег Михайлович · 1997 · Канд. наук

   • 05.27.07
4. Моделирование аэротермодинамических процессов в чистых помещениях при производстве интегральных схем

   Терещенко, Анатолий Михайлович · 1996 · Докт. наук

   • 05.27.07
5. Компьютерное моделирование процессов распространения и осаждения аэрозольных частиц в локальных чистых объемах микроэлектроники

   Зюрюкин, Андрей Викторович · 1996 · Канд. наук

   • 05.27.07