Разработка методов и средств контроля параметров технологии водоподготовки в производстве изделий микроэлектроники

Москва

270 стр.

Разработка методов и средств контроля параметров технологии водоподготовки в производстве изделий микроэлектроники — Жирков, Михаил Васильевич — 2003 — Российская библиотека диссертаций