Разработка моделей и алгоритмов управления технологическим процессом нанесения пленок в вакууме

  • 05.13.07

Санкт-Петербург

156 стр.

Разработка моделей и алгоритмов управления технологическим процессом нанесения пленок в вакууме — Шестопалов, М. Ю. — 1995 — Российская библиотека диссертаций