Разработка пиролитического метода получения окисных пленок и пленочных композиций, исследование их свойств и применение в некоторых микроэлектронных устройствах

  • 05.00.00 Техника

Ин-т радиотехники и электроники АН СССР, Москва

135 стр.

Разработка пиролитического метода получения окисных пленок и пленочных композиций, исследование их свойств и применение в некоторых микроэлектронных устройствах — Рябова, Лидия Александровна — 1968 — Российская библиотека диссертаций