Обложка работы «Разработка системы управления процессом формирования пучков заряженных частиц в задачах ионно-плазменного напыления». Автор: Царегородцев, Анатолий Валерьевич. Степень: Канд. наук. Год: 1999

Разработка системы управления процессом формирования пучков заряженных частиц в задачах ионно-плазменного напыления

Москва

160 стр.

Разработка системы управления процессом формирования пучков заряженных частиц в задачах ионно-плазменного напыления — Царегородцев, Анатолий Валерьевич — 1999 — Российская библиотека диссертаций