Разработка СВЧ резонаторных устройств контроля полупроводниковых материалов : автореферат дис. ... кандидата технических наук : специальность : 05.11.13 -Приборы и устройства контроля веществ, материалов и изделий
Ключевые слова
СВЧ резонаторные устройства, резонаторы квазистационарного типа