Развитие метода эллипсометрии для исследования наноразмерных пленок диэлектриков, полупроводников и металлов

НИУ "Институт ядерной физики Сибирского отделения РАН", Новосибирск

338 стр.

Развитие метода эллипсометрии для исследования наноразмерных пленок диэлектриков, полупроводников и металлов — Свиташева, Светлана Николаевна — 2014 — Российская библиотека диссертаций