Рентгенодифракционные исследования ионнолегированных слоев и эпитаксиальных пленок кремния

Москва

151 стр.

Рентгенодифракционные исследования ионнолегированных слоев и эпитаксиальных пленок кремния — Лобанович, Эдуард Францевич — 1982 — Российская библиотека диссертаций