Рентгенографическое исследование структуры сильно легированных монокристаллов и эпитаксиальных слоев кремния

Моск. ин-т стали и сплавов, Москва

231 стр.

Рентгенографическое исследование структуры сильно легированных монокристаллов и эпитаксиальных слоев кремния — Хацернов, Марк Аронович — 1973 — Российская библиотека диссертаций