Обложка работы «Сильноточный импульсный магнетронный разряд с инжекцией электронов из плазмы вакуумной дуги для осаждения покрытий и генерации ионных пучков.». Автор: Черкасов, Александр Алексеевич. Степень: Канд. наук. Год: 2025

Сильноточный импульсный магнетронный разряд с инжекцией электронов из плазмы вакуумной дуги для осаждения покрытий и генерации ионных пучков.

Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук ; Диссовет 24.1.115.02 (Д 003.031.XX), Томск

122 стр.