Синтез и исследование тонких окисных слоев на поверхности кремния

  • 02.00.00 Химия

Ленингр. технол. ин-т им. Ленсовета, Ленинград

183 стр.

Синтез и исследование тонких окисных слоев на поверхности кремния — Свешникова, Галина Владимировна — 1971 — Российская библиотека диссертаций