Синтез тонких пленок нитрида алюминия с заданными оптическими и электрофизическими свойствами

Москва

141 стр.

Синтез тонких пленок нитрида алюминия с заданными оптическими и электрофизическими свойствами — Жиляков, Лев Альбертович — 1993 — Российская библиотека диссертаций