Синтез тонких пленок нитрида алюминия с заданными оптическими и электрофизическими свойствами

Москва

24 стр.

Синтез тонких пленок нитрида алюминия с заданными оптическими и электрофизическими свойствами — Жиляк, Лев Альбертович — 1993 — Российская библиотека диссертаций