Система поддержки принятия решений при проектировании процесса ультрафиолетовой литографии

Научно-исследовательский и экспериментальный институт автомобильной электроники и электрооборудования, Москва

205 стр.

Система поддержки принятия решений при проектировании процесса ультрафиолетовой литографии — Корпачев, Максим Юрьевич — 2016 — Российская библиотека диссертаций