Обложка работы «Создание научных основ разработки электротехнологического высокочастотного плазменного оборудования для обработки изделий электронного приборостроения». Автор: Хрусталев, Владимир Александрович. Степень: Докт. наук. Год: 2002

Создание научных основ разработки электротехнологического высокочастотного плазменного оборудования для обработки изделий электронного приборостроения

Новосибирск

438 стр.

Создание научных основ разработки электротехнологического высокочастотного плазменного оборудования для обработки изделий электронного приборостроения — Хрусталев, Владимир Александрович — 2002 — Российская библиотека диссертаций