Стационарный и импульсный отжиг тонких пленок
Чапланов, Аркадий Михайлович, 1991, докторская диссертация
Минск
402 стр.
Другие работы по этой специальности
- Разработка и исследование схемотехнических SPICE-моделей MOSFET и JFET-транзисторов с учетом тепловых эффектов
Исмаил-Заде, Мамед Рашидович · 2022 · Канд. наук · ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»