Структура и свойства покрытий на основе нитридных систем Ti - Mo - N и Zr - Mo - N,полученных методом ионно-плазменного осаждения

Минск

152 стр.

Структура и свойства покрытий на основе нитридных систем Ti - Mo - N и Zr - Mo - N,полученных методом ионно-плазменного осаждения — Чаевский, Вадим Витальевич — 1993 — Российская библиотека диссертаций