Структура поверхностей кремния и германия и ее влияние на динамику адатомов и формирование наноструктур

ФГБУН Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук ; Диссовет 24.1.134.01 (Д 003.037.01), Новосибирск

238 стр.

Ключевые слова

структура поверхности полупроводников, адатомы динамика, наноструктуры полупроводников формирование

Структура поверхностей кремния и германия и ее влияние на динамику адатомов и формирование наноструктур — Жачук, Руслан Анатольевич — 2024 — Российская библиотека диссертаций