Структурная и структурно-химическая модификация физических свойств алмазоподобных кремний-углеродных пленок : диссертация ... кандидата технических наук : 1.3.11.

ФГБОУ ВО «Национальный исследовательский университет «МЭИ» ; Диссовет МЭИ.110, Москва

192 стр.

Структурная и структурно-химическая модификация физических свойств алмазоподобных кремний-углеродных пленок : диссертация ... кандидата технических наук : 1.3.11. — Чуканова, Татьяна Сергеевна — 2023 — Российская библиотека диссертаций