Структурные эффекты плазмохимической обработки тонких полимидных пленок и покрытий в технологии устройств микросистемной техники

  • 05.02.01

Москва

180 стр.

Структурные эффекты плазмохимической обработки тонких полимидных пленок и покрытий в технологии устройств микросистемной техники — Жукова, Светлана Александровна — 2004 — Российская библиотека диссертаций