Свойства и применение тонких слоев окислов, образующихся при катодном распылении металлов в кислороде

  • 05.00.00 Техника

Гос. оптич. ин-т им. С. И. Вавилова, Ленинград

240 стр.

Свойства и применение тонких слоев окислов, образующихся при катодном распылении металлов в кислороде — Мотовилов, Олег Александрович — 1969 — Российская библиотека диссертаций