Свойства пленок оксида галлия, полученных методом электрохимического окисления пластин GаAs

ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский Томский государственный университет» ; Диссовет НИ ТГУ.1.3.01, Томск

27 стр.

Ключевые слова

пленки оксида галлия, метод электрохимического окисления (анодирование), проводимость структур с пленками оксида галлия, детекторы дальнего ультрафиолетового излучения