Теоретические и экспериментальные исследования диффузии бора и фосфора в приповерхностной области ионно-легированного кремния

Москва

96 стр.

Ключевые слова

диффузия бора и фосфора

Теоретические и экспериментальные исследования диффузии бора и фосфора в приповерхностной области ионно-легированного кремния — Боднарь, Олег Борисович — 1997 — Российская библиотека диссертаций