Обложка работы «Теоретические основы построения смарт-структур для управления автоматизированными производственными процессами в микроэлектронике». Автор: Шевнина, Юлия Сергеевна. Степень: Докт. наук. Год: 2022

Теоретические основы построения смарт-структур для управления автоматизированными производственными процессами в микроэлектронике

ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники» ; Диссовет 24.2.342.01 (Д 212.134.04), Москва