Теоретическое и экспериментальное изучение процессов легирования полупроводниковых пленок примесями в газотранспортном методе выращивания

  • 01.00.00 Физика и математика

АН СССР. Сиб. отд-ние, Новосибирск

155 стр.

Теоретическое и экспериментальное изучение процессов легирования полупроводниковых пленок примесями в газотранспортном методе выращивания — Сидорова, Анна Викторовна — 1970 — Российская библиотека диссертаций