Обложка работы «Теория и технология процессов осаждения меди и золота периодическим током и их применение в микроэлектронике». Автор: Хамаев, Валентин Александрович. Степень: Докт. наук. Год: 1996

Теория и технология процессов осаждения меди и золота периодическим током и их применение в микроэлектронике

Москва

333 стр.

Ключевые слова

ток периодический, медь, золото, микроэлектроника

Теория и технология процессов осаждения меди и золота периодическим током и их применение в микроэлектронике — Хамаев, Валентин Александрович — 1996 — Российская библиотека диссертаций