Обложка работы «Теория ростового процесса молекулярных загрязнений и научные основы контроля чистоты поверхностей изделий индустрии высоких технологий». Автор: Севрюкова, Елена Александровна. Степень: Докт. наук. Год: 2017

Теория ростового процесса молекулярных загрязнений и научные основы контроля чистоты поверхностей изделий индустрии высоких технологий

Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники", Зеленоград

308 стр.

Теория ростового процесса молекулярных загрязнений и научные основы контроля чистоты поверхностей изделий индустрии высоких технологий — Севрюкова, Елена Александровна — 2017 — Российская библиотека диссертаций