Термодинамические аспекты процессов парообразования MOCVD предшественников на примере β-дикетонатных комплексов металлов(III)

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук ; Диссовет 24.1.086.01 (Д 003.051.01), Новосибирск

157 стр.

Ключевые слова

дикетонатные комплексы скандия, термодинамические характеристики парообразования комплексов

Термодинамические аспекты процессов парообразования MOCVD предшественников на примере β-дикетонатных комплексов металлов(III) — Макаренко, Александр Михайлович — 2024 — Российская библиотека диссертаций