Транспортные свойства гетероструктур a-Si+ПК/p-Si, полученных анодированием кремния

Белгородский государственный национальный исследовательский университет, Белгород

119 стр.

Ключевые слова

электрохимическое травление кремния, гетероструктуры пористого кремния, вторичный аморфный кремний

Транспортные свойства гетероструктур a-Si+ПК/p-Si, полученных анодированием кремния — Хмара, Александр Николаевич — 2018 — Российская библиотека диссертаций