Управление электрофизическими параметрами кремниевых МДП и КМНДП структур при радиационно-термической обработке

Москва

22 стр.

Управление электрофизическими параметрами кремниевых МДП и КМНДП структур при радиационно-термической обработке — Паничкин, Александр Валентинович — 1987 — Российская библиотека диссертаций