Влияние физико-химических параметров ионно-плазменного осаждения на структуру пленок нитридов ниобия и титана

Екатеринбург

194 стр.

Влияние физико-химических параметров ионно-плазменного осаждения на структуру пленок нитридов ниобия и титана — Шалаева, Елизавета Викторовна — 1992 — Российская библиотека диссертаций