Влияние имплантации галогенов на электрофизические свойства и процессы в монокристаллическом кремнии

Черноголовка

132 стр.

Влияние имплантации галогенов на электрофизические свойства и процессы в монокристаллическом кремнии — Краснобаев, Леонид Яковлевич — 1992 — Российская библиотека диссертаций