Влияние ионной имплантации на рентгенооптические характеристики поверхности кремния

Минск

101 стр.

Влияние ионной имплантации на рентгенооптические характеристики поверхности кремния — Муртада, Халим Абдулла — 1982 — Российская библиотека диссертаций