Влияние условий осаждения тонких пленок в вакууме на их свойства

  • 05.00.00 Техника

Киевский политехн. ин-т им. 50-летия Великой Октябрьской соц. революции, Киев

158 стр.

Влияние условий осаждения тонких пленок в вакууме на их свойства — Запорожец, Артур Гаврилович — 1971 — Российская библиотека диссертаций