Высокоскоростной спектрофотометрический метод измерения толщин многослойных пленочных структур

Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Москва

167 стр.

Высокоскоростной спектрофотометрический метод измерения толщин многослойных пленочных структур — Цепулин, Владимир Германович — 2019 — Российская библиотека диссертаций