Взаимодействие активного кислорода с кремнийорганическими соединениями в условиях плазмохимической обработки газоразрядных приборов
Ключевые слова
газоразрядные приборы, плазмохимическая очистка от загрязнений, кремнийорганический клей К-400
газоразрядные приборы, плазмохимическая очистка от загрязнений, кремнийорганический клей К-400