Явления переноса нелетучих продуктов на поверхность кремния и диоксида кремния при плазмохимическом травлении

Другие работы по этой специальности

1. Исследование и разработка методов устранения структурных дефектов в полуфабрикатах кремниевых интегральных схемах

   Пекарев, Александр Ильич · 1984 · Докт. наук

   • 05.12.18
2. Исследование нестабильности параметров логических ИС при внешних воздействиях с целью прогнозирования их отказов

   Егоров, Валентин Федорович · 1984 · Канд. наук · Ленинградский электротехнический институт имени В. И. Ульянова (Ленина)

   • 05.12.18
3. Методы проектирования мощных СВЧ транзисторов с учетом электродинамических эффектов близости

   Евстигнеев, Андрей Семенович · 1984 · Канд. наук · Московский институт радиотехники, электроники и автоматики

   • 05.12.18
4. Самоформирование микроструктур в технологии изготовления интегральных схем

   Навицкас, Ромуальдас Болевич · 1984

   • 05.12.18
5. Исследование и разработка технологических методов повышения качества и надежности СВЧ транзисторов

   Клейнфельд, Юрий Сергеевич · 1983 · Канд. наук · Московский институт радиотехники, электроники и автоматики

   • 05.12.18