Обложка работы «Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства». Автор: Сунь, Чжилэй. Степень: Канд. наук. Год: 2020

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства

ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский Томский политехнический университет», Томск

154 стр.

Ключевые слова

оксинитрид титана пленки, магнетронное распыление

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства — Сунь, Чжилэй — 2020 — Российская библиотека диссертаций