Закономерности процессов распыления кремния и германия при различных углах падения фокусированного ионного пучка галлия

«Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники» ; Диссовет 24.2.342.02 (Д 212.134.XX), Ярославль

149 стр.

Закономерности процессов распыления кремния и германия при различных углах падения фокусированного ионного пучка галлия — Смирнова, Мария Александровна — 2025 — Российская библиотека диссертаций