Численное моделирование субмикронных кремниевых приборов и технологических процессов

Москва

112 стр.

Ключевые слова

моделирование кремниевых приборов

Численное моделирование субмикронных кремниевых приборов и технологических процессов — Шибков, Андрей Анатольевич — 1996 — Российская библиотека диссертаций