Диагностика крупномасштабных примесных скоплений в полупроводниках и анализ таких скоплений в кремнии, выращенном методом Чохральского

Москва

129 стр.

Ключевые слова

полупроводники, кремний, метод Чохральского

Диагностика крупномасштабных примесных скоплений в полупроводниках и анализ таких скоплений в кремнии, выращенном методом Чохральского — Мурин, Дмитрий Игоревич — 1996 — Российская библиотека диссертаций