Диагностика приборных структур на основе кремниевых и углеродных слоев методом спектроскопии комбинационного рассеяния света

С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ), Санкт-Петербург

126 стр.

Диагностика приборных структур на основе кремниевых и углеродных слоев методом спектроскопии комбинационного рассеяния света — Левицкий, Владимир Сергеевич — 2016 — Российская библиотека диссертаций