ДМЭ исследование совершенства структуры поверхности при осаждении тонких слоев из низкоэнергетических ионных пучков

Ташкент

162 стр.

ДМЭ исследование совершенства структуры поверхности при осаждении тонких слоев из низкоэнергетических ионных пучков — Ниматов, Самад Жайсанович — 1991 — Российская библиотека диссертаций