Двухлучевая лазерная обработка кварца для резонаторов и фотошаблонов субмикронных интегральных микросхем

Другие работы по этой специальности

1. Лазерная технология формирования компонентов электронной техники из аморфных и кристаллических материалов

   Шершнев, Евгений Борисович · 2024 · Докт. наук

   • 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
2. Формирование тонкопленочных слоев с высокой диэлектрической проницаемостью на основе сложных оксидов реактивным магнетронным распылением

   Доан Тхе Хоанг · 2023 · Канд. наук

   • 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
3. Физико-технологические основы формирования гибридных наносистем "наностержни оксида цинка - коллоидные квантовые точки"

   Рябко, Андрей Андреевич · 2022 · Канд. наук · ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)»

   • 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
4. Нанокомпозиты, полученные внедрением наночастиц и коллоидных квантовых точек в пористые полупроводниковые матрицы

   Белорус, Антон Орестович · 2022 · Канд. наук · ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)»

   • 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
5. Атомно-молекулярный дизайн наноструктурированных материалов и нанокомпозиций : синтез, контроль технологии, свойства и применение

   Спивак, Юлия Михайловна · 2022 · Докт. наук · ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)»

   • 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Все работы по специальности