Эффекты низкоэнергетического ионного воздействия при эпитаксии Ge на Si

Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск

211 стр.

Эффекты низкоэнергетического ионного воздействия при эпитаксии Ge на Si — Смагина, Жанна Викторовна — 2008 — Российская библиотека диссертаций