Экспериментальное исследование параметров низкотемпературной плазмы в плазмохимических реакторах для микро- и наноэлектроники
Суханов, Яков Николаевич, 2005, кандидатская диссертация
Москва
114 стр.
Другие работы по этой специальности
- Исследование влияния малых газовых добавок и постоянного электрического поля на параметры сильно неоднородного СВЧ разряда пониженного давления методом математического моделирования
Титов, Александр Юрьевич · Канд. наук · Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (МГУ)
- Влияние гелия на захват ионов дейтерия в вольфраме и вольфрамовых сплавах W-Cr-Y
Арутюнян, Зорий Робертович · 2022 · Канд. наук · ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»
- Комбинированная методика корпускулярной диагностики и оптической эмиссионной спектроскопии для определения ионных потоков из низкотемпературной плазмы
Колодко, Добрыня Вячеславич · 2022 · Канд. наук · ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»
- Моделирование и оптимизация вертикальной нейтронной камеры для обеспечения томографии нейтронного источника плазмы ИТЭР
Родионов, Роман Николаевич · 2022 · Канд. наук · ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»
- Оптимизация литиевой эмиттер-коллекторной системы токамака
Васина, Яна Андреевна · 2022 · Канд. наук · ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»