Электронно-лучевой синтез в форвакуумной области давлений оксидных, нитридных и карбидных покрытий, поддерживаемый плазмой разряда с полым катодом

Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники ; Диссовет 24.2.415.03 (Д 212.268.04), Томск

128 стр.