Эллипсометрическая диагностика структур полупроводник-окисел

Санкт-Петербург

215 стр.

Эллипсометрическая диагностика структур полупроводник-окисел — Макарова, Татьяна Людвиговна — 1993 — Российская библиотека диссертаций