Энергетический спектр и температурная стабильность радиационных дефектов в кремнии, образующихся вблизи границы Si-SiO₂ при ионной имплантации

Москва

136 стр.

Энергетический спектр и температурная стабильность радиационных дефектов в кремнии, образующихся вблизи границы Si-SiO₂ при ионной имплантации — Аббасова, Ремзие Усеиновна — 1983 — Российская библиотека диссертаций